除自由電子激光器外，各種激光器的基本工作原理均相同，產(chǎn)生激光的必不可少的條件就是離子數(shù)反轉(zhuǎn)或者增益大于損耗，所以裝置中必不可少的組成部分有激勵(lì)（或抽運(yùn)）源、具有亞穩(wěn)太怪胎級(jí)的工作介持兩個(gè)部分。激勵(lì)是工作介持吸收外來能量后激發(fā)到激發(fā)態(tài)，為實(shí)現(xiàn)并維持粒子數(shù)反轉(zhuǎn)創(chuàng)造條件。激勵(lì)方式有光學(xué)激勵(lì)、電激勵(lì)、化學(xué)激勵(lì)和核能激勵(lì)等。

    激光工作物質(zhì)是指用來實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)并產(chǎn)生光的受激輻射放大作用的物質(zhì)體系，有時(shí)也稱為激光增益媒質(zhì)，它們可以是固體（晶體、玻璃）、氣體（原子氣體、郭子氣體、分子氣體）、半導(dǎo)體和液體等媒質(zhì)。對(duì)激光工作物質(zhì)的主要要求，是盡可能在其工作粒子的特定能級(jí)間實(shí)現(xiàn)較大程度的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，并使這種反轉(zhuǎn)在整個(gè)激光發(fā)射作用過程中盡可能有效地保持下去；為此，要求工作物質(zhì)具有合適的能級(jí)結(jié)構(gòu)和躍遷特性。

    而我們所說的紫外激光器是按照輸出波段的范圍分類的，主要與紅外激光和可見激光做比較，紅外激光和可見光通?？烤植康募訜崾刮镔|(zhì)熔化或者氣化的方式來加工，但是這種加熱會(huì)使物質(zhì)周圍遭到破壞因而限制了邊緣強(qiáng)度和產(chǎn)生小精細(xì)特征的能力。紫外激光直接破壞連接物質(zhì)原子組分的化學(xué)鍵，這種被稱為“冷”過程的方式不產(chǎn)生對(duì)外圍的加熱而直接將物質(zhì)分離成原子。

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